Mikro nozzle ile Polyimide ve fotoresist ultrasonik püskürtme kaplama sistemi

Mikro nozzle ile Polyimide ve fotoresist ultrasonik püskürtme kaplama sistemi

Açıklama:

Ultrasonik püskürtme sistemi, tekdüze, tekrarlanabilir fotoresist veya poliamid film kaplamaları gerektiren çeşitli uygulamalar için uygun olduğu kanıtlanmıştır ve basit, ekonomik,ve yeniden üretilebilir fotoresist ve poliamid kaplama süreci.
Polyimid ve fotoresist ultrasonik kaplamaların yaygın uygulamaları MEMS, lensler, mikrofluidik cihazlar, mikroelektronik ve filtrelerle sınırlı değildir.Kaplama sistemleri düz ve 3 boyutlu substratları kaplayabilir., tipik olarak silikon yongaları, cam, seramik ve metaller içerir.

Parametreler:

Ultrasonik nozelin yapısı ve prensibi:

Ultrasonik nozel, spesifik frekans rezonansına dayalı bir ayar cihazıdır.25 ve 120 kHz arasında bir frekans aralığı ileYani, ultrasonik frekans ne kadar yüksekse, dönüştürücü o kadar küçüktür ve nozzle atomizasyonu ile üretilen orta damla boyutu da azalır.

Ultrasonik nozel birkaç parçadan oluşur. Sürücü bileşen, elektrik enerjisini mekanik harekete dönüştüren bir çift piezoelektrik dönüştürücü içerir.Yüksek frekanslı güç kaynağı, nozelin rezonans frekansına kilitlenebilen ayrı bir jeneratörden gelir.Dönüştürücü, iki titanyum silindir arasında yer almaktadır, bu da atomlaşma yüzeyinde etkisini en üst düzeye çıkarmak için dönüştürücünün titreşim hareketini güçlendirir.Titanyumu malzeme olarak seçtik çünkü yüksek germe dayanıklılığı var., iyi akustik özellikleri ve mükemmel korozyon direnci.

Sıvı, büyük çaplı bir kanaldan, nozelin tüm uzunluğu boyunca atomlaştırma yüzeyine taşınır.Yüksek amplitudlu titreşimlere maruz kalacak ve küçük damlacıklara parçalanacak ve düşük hızlarda (saniye başına 3 inçten az) hareket edecek.Bu etkiyi elde etmek için, uygulamanın gücü nispeten dar bir pencere içinde tutulmalıdır. Çok düşük güç, nozelin çalışmasını durdurmasına neden olur, yani atomlaşma gerçekleşmez;Eğer güç çok yüksekse, sıvı büyük parçalara ayrılır, bu da püskürtme spreyi için uygun değildir.Fırlatılan sıvının özel tasarımına ve özelliklerine bağlı olarak nozelin çalışma gücü 1 ila 15 watt arasında değişir..

Mikro nozzle ile Polyimide ve fotoresist ultrasonik püskürtme kaplama sistemi