Silikon levha kesiminden önce ultrasonik püskürtme koruyucu film özel kaplama

Silikon levha kesiminden önce ultrasonik püskürtme koruyucu film özel kaplama

Açıklama:

Silikon levha kesiminden önce ultrasonik püskürtme koruyucu film özel kaplama güvenilir, tekrarlanabilir,ve kesmeden önce silikona çeşitli kimyasalları uygulamak için verimli bir yöntemGenel olarak kullanılan kimyasal maddeler arasında Z kaplama, PMMA ve diğer kolayca çıkarılabilen kimyasallar bulunur.FUNSONIC'in nozel sistemi, silikon vafeleri kesmeden önce koruyucu filmler için müşterilerin özel kaplama gereksinimlerini ve zorluklarını karşılamak için özelleştirilebilir.
Silikon levha kesiminden önce ultrasonik püskürtme koruyucu film özel kaplama, kalınlığı submikron'dan 100 mikron'a kadar kontrol ederek herhangi bir şekle veya boyut için uygulanabilir.Kaplama sistemi, döner ve geleneksel püskürtme gibi diğer kaplama teknolojilerine uygulanabilir bir alternatiftir..

Parametreler:

Avantajlar:

Ultrasonik nozellerin fotolitografi işleminde önemli uygulamalar vardır.Yarım iletken üreticileri, silikon ve galiyum arsenür çip substratlarına fotoresist geliştiricisini püskürtmek için ultrasonik püskürtme teknolojisini kullanır, optik adımlı görüntüleme devrelerini gösterebilen kimyasal bir madde. püskürtme işlemi, nozelin çipin üzerine yerleştirilmesini içerir.ve daha sonra kaplama eşit dağıtmak için XYZ üç eksenli ve servo motor ile ultrasonik nozel kontrolUltrasonik nozelin püskürtmesi yumuşak ve sürekli olduğundan, kimyasal aktiviteyi geliştirebilir, geliştirme verimliliğini artırabilir ve geri dönüşü ve malzeme atıklarını azaltabilir.Veriler, ultrasonik püskürtme teknolojisinin malzemelerin% 70'ine kadar tasarruf edebileceğini ve kritik boyutların kontrolünü artırabileceğini göstermektedir.
Geleneksel spin kaplama ile karşılaştırıldığında, ultrasonik nozellerin avantajı, malzemeleri daha eşit şekilde dağıtabilmeleri ve sıvı dağılımının yüzey gerilimine bağımlılığını azaltmalarıdır.Geleneksel spin kaplama, çipin bir kısmına su birikimi veya akıntı şeklinde malzemelerin yatırılmasını içerir, ve sonra da merkezkaç kuvvetiyle yüzeye dağıtılırlar.Bu işlem, kaplamanın bütünlüğünü ve tekdüzeliğini sağlamak için sıcaklığın ve çözücü buharlaşma hızının hassas kontrolünü gerektirir.Öte yandan ultrasonik nozeller, malzemeyi çipin tüm yüzeyine atomlaştırarak sürekli ince bir film oluşturur.Solvent buharlaşmasını ve yüzey kuvvetlerini dikkate almak gerekmez., ve hiçbir püskürme veya arkadan çökme olmayacak.

Silikon levha kesiminden önce ultrasonik püskürtme koruyucu film özel kaplama