60 kHz Yüksek Sıcaklıklı Döner Ultrasonik Sprey Kaplama Sistemi

60 kHz Yüksek Sıcaklıklı Döner Ultrasonik Sprey Kaplama Sistemi

Açıklama:

Bizim 60 kHz yüksek sıcaklıklı girdap ultrasonik sprey kaplama sistemimiz 60 kHz girdap ultrasonik atomlaştırma nozelini yerleşik soğutma yapısıyla birleştirmiştir.Piezoelektrik dönüştürücü, sıvı öncüllerini ince mikro damlacıklara dönüştürmek için yüksek frekanslı titreşimler üretirDüşük hızlı girdap şekillendiren gaz, substratlara güçlü bir etki yapmadan istikrarlı konik bir sprey alanı oluşturur.

Düzlük soğutma bileşimi, 500 ~ 600 °C'ye kadar ulaşabilen yüksek sıcaklıklı ısıtma aşamasından ısıyı izole eder.Bu tasarım, öncül çözeltinin doğrudan altüst yüzeyinde in-situ kurutulmasını ve termal ayrıştırılmasını sağlar..

Geleneksel odaklanmış ultrasonik püskürtme nozellerine kıyasla, girdap tipi daha geniş etkili püskürtme genişliği ve üstün kaplama tekdüzeliği sunar.Yumuşak sis aşırı püskürtmeyi büyük ölçüde azaltır ve malzeme kullanımını% 90'dan fazla artırır, pahalı değerli metal öncü malzemeleri tasarruf. ultrasonik kendi kendine temizleme performansı süspansiyonlar, sollar ve tuz çözeltileri için nozzle tıkanma en aza indirmek.

Hassas sıvı besleme modülü, bağımsız gaz kontrol ünitesi ve XYZ servo hareket platformu ile donatılmış olan sistem, programlanabilir kaplama yollarını destekler.Onlarca nanometreden mikrometreye kadar olan ince filmleri depolayabilir.

Tipik uygulamalar arasında yakıt hücresi katalizör katmanları ve PEM kaplamaları, perovskit güneş hücreleri, TCO ve metal oksit filmleri, MEMS ve wafer fonksiyonel kaplamaları, sensör nano-film imalatı bulunmaktadır.

Parametreler:

Avantajları:

1Döngü püskürtmesi ile tek kapsamlı kapsama, tek geçişte daha geniş etkili püskürtme genişliği
2. Yüksek sıcaklık uyumlu tasarımı. Substrat termal parçalanma sürecini desteklemek için soğutma yapısı ile nozzle
3Yüksek malzeme kullanımı% 90'dan fazla, pahalı öncü çözümleri tasarruf etmektedir
4Ultrasonik kendi kendine temizleme, nozel tıkanma riski düşük, süspansiyonlar, sollar ve tuz öncüleri ile uyumludur
5. Hafif sis, düşük etki, gözenekli substratlara veya önceden şekillendirilmiş ince filmlere zarar verme
6. Filmin kalınlığını kontrol etmek için çok katmanlı deppozisyon.
7. Düşük basınçlı girdap şekillendiren gaz, minimum damla sıçraması ve düşük aşırı püskürme

60 kHz Yüksek Sıcaklıklı Döner Ultrasonik Sprey Kaplama Sistemi